一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀 出售中

专利类型: 发明专利
专 利 号: CN200710093179.X
适用行业: 机械
交易形式:
专利价格: 待议价

专利信息

  • 专利状态: 已下证
  • 登记日期:
  • 有效期至:

专利介绍

本发明公开了一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀,其在阀体上加工半径为R的通孔和与其同轴的圆环柱体空腔,自然形成圆环面边界,薄膜执行元件不仅与圆环柱体空腔形成密闭的流体腔通过出液通道与出液口相连,而且与圆环面边界接触将进液通道和出液通道隔开。自然状态阀关闭,外部控制信号使薄膜执行元件产生振动或变形改变与圆环面边界之间的距离,实现阀的开启、关闭及其程度。本发明能实现极小流量的控制,达到极高的流量控制精度;通过薄膜执行元件主动控制阀的开启和关闭,可以减少阀的滞后现象,提高工作效率,保证薄膜执行元件有一定预变
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